工控產品

Celerity VDM100 與（yǔ） VDMW300022V1L 蒸汽輸送模塊（Vapor Delivery Module），用於半導體及薄膜設備（bèi）中的液體前驅體氣化與穩定輸送。設備支（zhī）持 Ethernet 與 I/O 通訊，內置 250V/3A 快熔保（bǎo）險接口，氣化流量範圍約 3 SLPM H₂O，接口完（wán）整，外觀（guān）良好。

Celerity VDM 係列是高精度蒸汽發生與輸送模塊，主要（yào）用於將液（yè）體化學前驅體（tǐ）（如 TEOS、TDMAT、DEZ 等）均勻汽化後輸送至 CVD、ALD、PECVD 等反應腔。

其（qí）模塊化設計可實現快速加熱（rè）、穩定流量控製、實時診斷接口（kǒu），並可通過 Ethernet 或 I/O 接口進行遠（yuǎn）程監控（kòng）。

應用領域 / Applications

• 半導體工藝設備（CVD、ALD、PECVD）

• 光電薄膜與顯示（shì）器製造

• 納（nà）米材料沉積係統

• 實驗（yàn）室蒸汽輸送與氣化試驗平台

背麵接口說明 / Rear Panel Connections

• INPUT/OUTPUT： 模擬與數字控製接口（用於係統控製信號）

• DIAG： 診斷端口，用於狀態檢測與維護

• ETHERNET： 網（wǎng）絡通信接口，可遠程控製

• TANK DRAIN： 蒸汽腔排液口，帶快插（chā）接頭（tóu）

• FUSE： 250V AC / 3A 快（kuài）熔保險保護

包裝與配置 / Included Items

• Celerity VDM100 或 VDMW300022V1L 主機

• 電源接口及以太網端口保護蓋

• 原廠銘牌與接口標簽齊全

成色與狀態 / Condition

• 外觀整潔，模塊未拆修

• 接口齊全（quán），標簽完整清晰

• 已通過基本電源與接口檢（jiǎn）查

• 適合用於設備替換、維修或二次集成（chéng）