工控產品

ENI GHW-50 射頻（pín）電源（RF Generator）由美國 MKS ENI 出品，輸出功率高達 5kW，標準工作頻率 13.56 MHz，廣泛（fàn）應用於等離子蝕（shí）刻、PECVD、PVD 鍍膜、離子清洗等半導體及光電製造工藝。
整機外觀良好，接口完好，已通過（guò）基本通（tōng）電測試。

ENI GHW-50 是一款高功率射頻（pín）電源發生器，采用穩頻振（zhèn）蕩與高效放大技術，為真空腔體內的等離子體提供穩定可控的能量輸入。

設備支持本地與遠程控製，兼容（róng）多種匹（pǐ）配網絡係統（Matching Network），並具備自動功率調節、故障保護及水冷散熱（rè）功能（néng）。

技術參數（shù） / Specifications

 背麵接口說明 / Rear Panel Connections

• RF OUTPUT：射頻功率輸出端（連接匹配器或腔體）

• ANALOG I/O：模擬（nǐ）輸入輸出端口（用於（yú）遠程控製與監測）

• SERIAL PORT：串行通信接口

• MATCHWORK INTERFACE：與匹配網絡通訊連（lián）接

• DC BIAS / INTERLOCK：安全互鎖與偏（piān）壓信號接口

• WATER IN / OUT：水冷管路進（jìn）出（chū）接口

 應用領（lǐng）域 / Applications

• 半導體等離子蝕刻設備（Etcher / ICP）

• PECVD、PVD 鍍膜係（xì）統

• 離子注入與清洗係統

• 實驗室等離子（zǐ）研究設備

 包裝（zhuāng）與配置 / Included Items

• ENI GHW-50 主機 1 台

• 電源（yuán）線、水冷接頭、接口說明標簽

• 原裝美製接口標識完整

• 可選配匹配網絡（Matching Network，需另（lìng）購（gòu））

 成色與狀態 / Condition

• 外觀良好（hǎo），麵板幹淨，按鍵靈敏

• 後麵接口齊全，標識完整

• 已通過上電測試（shì），可正（zhèng）常運行（háng）

• 適合科研與生產用途