工控維修

一、真（zhēn）空計概（gài）述

真空計，又稱真（zhēn）空表（biǎo）或真空規管，是一種專門用（yòng）於測量（liàng）氣體壓強或真（zhēn）空度的儀器。它通過測（cè）量封（fēng）閉空間內氣體（tǐ）分子運動產生的壓（yā）力來（lái）間接反映（yìng）真空度的（de）高低。在科研和工業生產中，真空計被廣泛應用，用於精確控（kòng）製真空環境，確保實驗（yàn）或生產過程的穩定（dìng）性和精（jīng）確性。

二、真空計的原理

真空計的工（gōng）作原（yuán）理基於不同（tóng）氣壓下氣體（tǐ）分（fèn）子的物理效應變化。根據測量原理的不同，真空計主要可分為三大類：利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用（yòng）帶電（diàn）粒子效應的真空計。

1. 利用（yòng）力學性能的真空計

• 波爾登規（Bourdon Gauge）：利用細銅管在氣體壓（yā）力作用下的舒展現象，帶動杠（gàng）杆和齒輪旋轉，使指針指示（shì）在（zài）不同刻度（dù）上，從而讀出（chū）氣壓值。

• 薄膜電容規：金屬膜片在（zài）不同壓（yā）力下變形，導致與電（diàn）極之間的電容變化，通過測量電容變化（huà）量來（lái）推算氣壓值。

2. 利用（yòng）氣體動力學效應的真（zhēn）空計

• 皮拉尼電阻規（Pirani Gauge）：利用電阻與（yǔ）溫（wēn）度的關係，通過測量熱絲在不同（tóng）氣壓下保持的溫（wēn）度變化來（lái）推算氣壓（yā）。

• 熱電偶規（guī）：與皮拉尼（ní）電阻規類似，但直接測量熱絲的溫度變化，而不是電阻變（biàn）化。

3. 利用帶電粒子效（xiào）應（yīng）的真空計

• 熱陰極電離規：熱陰（yīn）極發射電子，電離真（zhēn）空中的氣體分子，收集產生的離子電流來推算氣壓。

• 冷陰極電離規：利用磁控放電電離氣體分子，收集離子電流（liú）進行氣壓測量。

三、真空計的使用方法

1. 選擇（zé）合適的真空計：根據測量需求選擇合適的真空計型號和量程。

2. 校準真空（kōng）計：在使用前進行校準，確保測量結果的準確性。

3. 連接真空計：將真空計連接到被測設備或容器上，確保連接部位密封性良好。

4. 啟（qǐ）動測量：開啟（qǐ）被測設備或容器，待其達到穩定狀態後開啟真（zhēn）空（kōng）計進行測量。

5. 讀取數據：穩定後（hòu）讀取真（zhēn）空（kōng）計顯示的數據，注意數據的穩定性和準確性。

6. 結束測量（liàng）：測（cè）量完畢後關閉真空計和被測設備或容（róng）器，妥善保管真空計。

四、真空計（jì）的（de）故障及維修方法

1. 無法啟動

• 檢查電源：確認真空計是否插好電源（yuán），插頭是否鬆動。

• 檢查保險絲：查看保險絲是否燒壞，必要時更換。

• 檢查開（kāi）關：確認開關位置正確，設置（zhì）無誤。

2. 讀數不準確

• 檢查連接（jiē）口：確認連接口是否鬆動，連接是否緊密。

• 檢查量程設（shè）置：確認量（liàng）程（chéng）設置（zhì）是否正確，避免超出測量範圍。

• 檢查傳感器：傳感器損壞可能導致讀數不準確，需更換傳感器。



3. 讀數過高或（huò）過低（dī）

• 檢查氣體流量：氣體流量異常可能影響讀數，需檢查氣體流量是否正（zhèng）常（cháng）。

• 檢查真空管質量：真空（kōng）管質量不佳也可能導（dǎo）致讀數不準確，需更換真空管。

4. 漏氣（qì）

• 檢查（chá）密封性：確認真空計和真空管的密（mì）封性是否良好，必要（yào）時進行密封處理。

• 檢測（cè）隱藏漏氣：使用灌注氣體等（děng）方（fāng）法檢測隱藏漏氣點，並進行修複。

5. 預防措施

• 定期檢查：定期對真空計（jì）進行維護和檢查，確保其正常工作（zuò）。

• 保持清（qīng）潔（jié）：保持真（zhēn）空計清潔，避免幹擾測量結果。

• 安全操作：注意操作安全，避免操作不當導致設備損壞或（huò）安全事故。

五、總結

真空計作為測量真空度（dù）或氣壓（yā）的重要工具，在科研和工業生產中發揮著重要作用。了解其工作原理（lǐ）、掌握正確的使用方法以及處理常見故障的方法，對於確保測量結果的準（zhǔn）確性和設備的穩定運行至關重要。同時，定期維護和檢查真空（kōng）計也是保（bǎo）證（zhèng）其長期穩定工作的關鍵。

六、91视频网址入口機電維修過的真空機品牌和型號、

   1、Inficon

（1）Sky CDG025D: Capacitance Diaphragm Gauge

（2）Sky CDG100D: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）Sky CDG200D: Capacitance Diaphragm Gauge

（4）Skyview: Combination Pirani and Cold Cathode Gauge

   2、Edwards

（1）nEXT係列：nEXT730D，nEXT930D

（2）Active Pirani係列：APG100，APG200

（3）Active Inverted Magnetron係列：AIM-X，AIM-S

   3、Pfeiffer Vacuum

（1）ActiveLine係列：TPR 280，TPR 270

（2）DigiLine係列：DPG 102，DPG 109

（3）Compact係列：PCR 260，PCR 270

   4、MKS Instruments

（1）Granville-Phillips係列：370 Stabil-Ion，375 Convectron，390 Micro-Ion

（2）Baratron係列：627D，629A

（3）PDR係列：PDR2000

   5、Leybold

（1）Thermovac係列：TTR 91，TTR 101

（2）Ceravac係列：CTR 100，CTR 101

（3）Ionivac係列：ITR 90，ITR 91

   6、Agilent Technologies

（1）ConvecTorr: Convectron Gauge

（2）UHV Ionization Gauge: Ultrahigh Vacuum Gauge

（3）FRG-700: Full Range Gauge

   7、Teledyne Hastings

（1）DV-6: Thermocouple Vacuum Gauge

（2）HPM-2002: Digital Vacuum Gauge

（3）HVG-2020B: Digital Vacuum Gauge

   8、Brooks Instrument

（1）5866: Capacitance Manometer

（2）5850: Mass Flow Controller

（3）5863: Digital Pressure Gauge

   9、Kurt J. Lesker

（1）945係列：Inverted Magnetron Gauge

（2）350係（xì）列：Pirani Gauge

（3）354係列：Ionization Gauge

   10、ULVAC

（1）G-Tran係列：G-Tran ST1，G-Tran PT1

（2）SW-1係列：SW-1

（3）M-100係列：M-100

   11、InstruTech

（1）B-RAX 3000: Vacuum Gauge Controller

（2）CDG-500: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）IGC100: Cold Cathode Gauge

   12、Thyracont

（1）Smartline係列：VSR，VSP

（2）Digitalline係列：VD8，VD12

（3）Analogline係列：VMA，VPA

   13、Agilent

（1）XGS-600: Gauge Controller

（2）FRG-720: Full Range Gauge

（3）UHV-24: Ultra High Vacuum Gauge

   14、Sens4

（1）VQM-83: Vacuum Quality Monitor

（2）VSM-32: Vacuum Sensor Module

   15、Dycor (AMETEK)

（1）Dycor Quadlink: Residual Gas Analyzer

（2）Dycor 1000: Vacuum Gauge

   91视频网址入口機電公司長期（qī）維修真空計，擁有接近30年的維修經驗，可以快速搶修好（hǎo）各類儀器，另外回收和銷售各類真空計，歡迎谘詢。